Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
Chris Mack, University of Texas
John Wiley & Sons, Inc., 2007
ISBN: 978-0-470-01893-4;
Language: English
Written for students and professionals, Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication covers the fundamental principles of semiconductor microlithography. Its focus is on the underlying scientific principles of optical lithography, rather than its practice. Topics covered include basics of IC fabrication, Moore’s law and the semiconductor industry, mathematical description of light, and imaging with scanners versus steppers.
A laboratory manual to accompany the textbook is available for download. The manual uses MATLAB to enable students to write their own code for performing complex lithography calculations.
Sélectionner un site web
Choisissez un site web pour accéder au contenu traduit dans votre langue (lorsqu'il est disponible) et voir les événements et les offres locales. D’après votre position, nous vous recommandons de sélectionner la région suivante : .
Vous pouvez également sélectionner un site web dans la liste suivante :
Comment optimiser les performances du site
Pour optimiser les performances du site, sélectionnez la région Chine (en chinois ou en anglais). Les sites de MathWorks pour les autres pays ne sont pas optimisés pour les visites provenant de votre région.
Amériques
- América Latina (Español)
- Canada (English)
- United States (English)
Europe
- Belgium (English)
- Denmark (English)
- Deutschland (Deutsch)
- España (Español)
- Finland (English)
- France (Français)
- Ireland (English)
- Italia (Italiano)
- Luxembourg (English)
- Netherlands (English)
- Norway (English)
- Österreich (Deutsch)
- Portugal (English)
- Sweden (English)
- Switzerland
- United Kingdom (English)